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基板和薄膜涂層干燥設備
該裝置在真空下蒸發涂層膜的溶劑,以抑制下游工藝中不均勻的發生。蒸發的溶劑在冷阱罐中聚集并回收。
產品詳情
兼容基板尺寸:
G2.5
(
360mm×460mm
)
~ (2
,
600mm×2
,
600mm)
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