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無氧化烘箱 晶圓使用

適用于半導(dǎo)體、光電元件、能原材料、通訊產(chǎn)品、機(jī)電產(chǎn)品等作無氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理。 封裝測試;所有的Lead PKG、BGA、MCM;光刻工藝有機(jī)聚合物膜預(yù)固化、堅(jiān)膜;銀漿固化、模后固化、電鍍退火;基板除潮、晶圓干燥退火等

    無氧化烘箱|イナートオーブン|Inert Gas Ovens

    適用范圍:

      適用于半導(dǎo)體、光電元件、能原材料、通訊產(chǎn)品、機(jī)電產(chǎn)品等作無氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理。

      封裝測試;所有的Lead PKG、BGA、MCM;光刻工藝有機(jī)聚合物膜預(yù)固化、堅(jiān)膜;銀漿固化、模后固化、電鍍退火;基板除潮、晶圓干燥退火等。

     

    產(chǎn)品特點(diǎn):

    1、密封 性設(shè)計(jì):內(nèi)材質(zhì)用SUS304不銹鋼板,整個(gè)內(nèi)桶用氬弧焊滿焊,防止空氣進(jìn)入烘箱內(nèi),同時(shí)節(jié)省惰性氣體;

    2、外部防塵處理:外材質(zhì)為SPCC鋼板經(jīng)過蘇打水清洗后粉體烤漆處理;

    3、節(jié)       能:保溫材質(zhì)為高密度纖維棉,保溫效果好;

    4、分層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì):內(nèi)箱層板高低可調(diào),可自由取出;

    5、移動(dòng) 自由:箱體有活動(dòng)腳輪,可任意推動(dòng)和固定位置;

    6、高效過濾器:安裝耐高溫高效過濾器,獲得潔凈的烘烤環(huán)境;(選配)

    7、內(nèi)循環(huán)風(fēng)設(shè)計(jì):強(qiáng)制送風(fēng)內(nèi)循環(huán),確保溫度均勻;

    8、氮?dú)忸A(yù)熱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì);

    9、冷  系  統(tǒng):配備冷卻系統(tǒng),可減少等待時(shí)間,提高效率;(選配)

    10、寬泛的溫度范圍選擇;

     

    技術(shù)參數(shù)

     

               型號

    規(guī)格參數(shù)

    HOC- WYH81

    (A3~D)

    HOC- WYH180

    (A3~D)

    HOC- WYH409

    (A3~D)

    HOC-WYH1361

    (A3~D)

    內(nèi)箱尺寸(W*D*H)mm

    350*580*400

    600*600*500

    640*640*1000

    990*1100*1250

    工作腔數(shù)量

    1

    單腔

    2

    雙腔

    4

    四腔

    1

    單腔

    2

    雙腔

    4

    四腔

    1

    單腔

    1

    單腔

    2

    雙腔

    外型尺寸(W*D*H)mm

    以實(shí)物為準(zhǔn)(溫度不同外箱尺寸不同)

    工作溫度范圍

    A3:室溫~200℃  A2:室溫~250℃  B2:室溫~350℃  C2:室溫~450℃  D:室溫~600℃

    氧含量

    I:500ppm; II:200ppm; III:50ppm :20ppm

    機(jī)器性能

    控制精度

    0.1℃

    分布均勻度

    ±2.0℃%

    升溫

    時(shí)間

    175

    250

    min

    30

    40

     

    材質(zhì)

    外部材質(zhì)

    SPCC鋼板粉體烤漆處理

    內(nèi)部材質(zhì)

    SUS﹟304不銹鋼數(shù)控折彎成型

    隔熱材質(zhì)

    陶瓷纖維棉

    密封材料

    采用耐高溫硅橡膠

    循環(huán)系統(tǒng)

    多翼式循環(huán)風(fēng)扇

    氮?dú)庋b置

    流量計(jì)大小可調(diào)(L/min)

    加熱器

    不銹鋼高速加熱器

    計(jì)時(shí)器

    0.1S~9999H

    溫控器

    普通標(biāo)準(zhǔn)型/觸摸屏PLC程序控制型

    其它配件

    隔層置物架(不銹鋼沖孔盤2片)

    安全裝置

    電路系統(tǒng)負(fù)載保護(hù),風(fēng)機(jī)過載保護(hù),溫到計(jì)時(shí)時(shí)到斷加熱,故障警示燈

    選配件

    ①多點(diǎn)測溫查看及記錄功能;②氧含量分析儀;⑥聯(lián)網(wǎng)功能;⑦HEPA高效過濾器;⑧快速降溫系統(tǒng)

    電源(V)

    220

    AC 3相5線380V 50HZ

    注:1、以上數(shù)據(jù)均在環(huán)境溫度(QT)25℃.工作室無負(fù)載條件下測得         
    2、可依客戶要求之尺寸制作,滿足客戶的要求。本技術(shù)信息,如有變動(dòng)恕不另行通知

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